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我校邓万宇教授研制的“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”在天水华洋科技落地应用
发布时间:2021年07月09日 19时27分31秒 责任编辑:丁琳 审核:田卫蒙

本网讯(通讯员 宁都)近日,由计算机学院邓万宇教授团队研制的“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”在天水华洋科技公司落地应用。该设备与前期研制的“半导体引线框架光刻掩膜缺陷智能检测设备”、“半导体引线框架镀银缺陷智能检测设备”共同构筑了覆盖半导体引线框架生产全流程的完整品控“防火墙”,实现了蚀刻引线框架生产工艺质量监测的全贯通。

针对企业痛点,邓万宇教授结合多年来在人工智能、精密视觉等方面的技术积累和丰富经验,相继攻克精密滑台运动控制、全自动无干扰智能检测模型构建、物理偏差自动协作校正等关键技术,成功研制了“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”,获得了客户的高度肯定。该设备优势突出,采用先进的人工智能算法自我学习检测模型,解除了当前AOI(自动光学检测)需要费时费力构建模板的滞碍;实现了引线框架曝光不全、漏铜、纹理偏移等各种缺陷全覆盖;支持铜、银、膜三种及以上材料的复杂蚀刻工艺;支持金相高倍显微镜快速回看;基于GPU超线程技术实现了检测速度的飞速提升,检测270mm×240mm引线框架仅需不到1—2分钟。该设备研制具有完全的自主知识产权,对助推我国半导体产业链的自主、可控发展具有积极意义。

邓万宇教授,计算机学院数据科学与大数据系主任,陕西省青年科技新星,研究生导师,西安交通大学博士,新加坡南洋理工大学博士后,美国爱荷华大学访问学者。主要研究方向为大数据、人工智能、深度学习。先后主持国家自然科学基金2项,省科技计划1项、省教育厅服务地方专项1项、科技专项2项。在国内外知名学术刊物《IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems》、《Neural Networks》、《Neurocomputing》、《计算机学报》及IEEE、ACM等国际会议上发表学术论文70余篇(其中SCI/EI收录30余篇)。获陕西省高等学校科学技术二等奖、计算机学报最佳论文奖、陕西省自然科学优秀论文奖等。

(供稿:计算机学院)


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